纯水设备超纯水系统变得越来越复杂和庞大，系统需要检测执行的信号繁多，对超纯水自动化系统的数据处置能力、平安性，可靠性的要求的提出了更高的要求，且需要及时地对系统的故障进行有效的预测、检测、分离和修复。自来水被存储到原水箱中，称为原水。原水通过泵被抽入多介质过滤器中，原水从过滤器顶部进入，通过罐体内的过滤介质，通过底部总管排出，水中不溶于水的大颗粒，悬浮物将会被有效地内部填装的过滤介质所拦截。同时，多介质过滤器在防止污染活性碳滤床的预防中发挥关键作用。

　　纯水设备随同着TFT-LCD制造工业的发展。六十年代，超纯水的离子泄漏量要求为5ppb微克/升)七十年代中期已提高到1ppb进入八十年代后，这个目标已向0.1ppb迈进。九十年代，膜技术得到广泛应用，微滤、超滤、电渗析和反渗透RO等先进的水处置技术得到长足发展，RO-混床系统取代了保守的离子交换系统，满足了诸如TFT-LCD等行业对纯水质量要求，从而大大推动了纯水技术的发展。

　　七八十年代，不管是离子交换法还是反渗透法的超纯水处置，纯水设备其控制系统主要采用DCSDistributedControlSyestem分散控制系统。DCS系统需要第三方仪表或控制系统按其专用协议与DCS通讯，开放性差。90年代后，随着PLC控制功能增强，功耗和体积减小，利息下降，可靠性的提高，且其编程和故障检测也更为灵活方便。而且随着分布式I/O和现场总线通信网络的发展，PLC数据处置能力的发展，使PLC成为工业生产自动化产业的一大支柱。超纯水处置控制系统也逐渐从DCS控制系统过渡到采用PLC现场总线控制系统。