超纯水处理系统是指从普通自来水至超纯水制备的完整生产系统，包括预处理系统、RO系统、制成系统和抛光系统四个子系统。在TFT-LCD生产中，整个生产工艺流程复杂，需要检测和控制的信号繁多，再加上系统对稳定性、可靠性的高要求，因此需要采用现代化自动控制系统实现超纯水系统控制。纯水设备设计一整套基于西门子PLC的超纯水处理控制系统，通过集成先进PLC冗余技术、网络技术、现场总线、组态软件等技术，满足超纯水自动化系统对稳定性、可靠性、便于监控性等的全面系统控制要求。国内外超纯水控制系统的发展概况超纯水最初为美国科技界因研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)提出了超纯水的生产。早期超纯水的求主要来自于发电、医药、化工、造纸等行业，水质要求相对较低，其制备主要采用离子交换系统。

     随着半导体工业的发展，纯水设备对超纯水质量要求不断提高，超纯水的定义也发生了迅速的变化。纯水的离子泄漏量要求为5ppb(微克/升)，七十年代中期已提高到1ppb，进入八十年代后，这个目标已向0.1ppb迈进。到九十年代，膜技术得到广泛应用，微滤、超滤、电渗析和反渗透RO等先进的水处理技术得到长足发展，RO-混床系统取代了传统的离子交换系统，满足了诸如TFT-LCD等行业对纯水质量要求，从而大大推动了纯水技术的发展。在七八十年代，不论是离子交换法还是反渗透法的超纯水处理，其控制系统主要采用DCS(DistributedControlSyestem)分散控制系统。DCS系统需要第三方仪表或控制系统按其专用协议与DCS通讯，开放性差。90年代后，随着PLC控制功能增强，功耗和体积减小，成本下降，可靠性的提高，且其编程和故障检测也更为灵活方便。而且随着分布式I/O和现场总线通信网络的发展，PLC数据处理能力的发展，使PLC成为工业生产自动化产业的一大支柱。超纯水处理控制系统也逐渐从DCS控制系统过渡到采用PLC的现场总线控制系统。